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    公开号:WO1988007504A1
    申请号:PCT/JP1988/000339
    申请日:1988-04-01
    公开日:1988-10-06
    发明作者:Tsuyoshi Hagio；Kazuo Kobayashi；Hisayoshi Yoshida；Ichitaro Ogawa；Hiroshi Harada；Hiroaki Yasunaga；Hiroshi Nishikawa
    申请人:Japan As Represented By Director General Of Agency；Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha；
    IPC主号:C04B35-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書
    [0002] 窒化硼素常圧焼結体
    [0003] 技術分野
    [0004] 本発明は、 高熱伝導性及び高電気絶緣性を有し放熱板等の 素材と して好適な窒化硼素常圧焼結体及びその製造方法に関 するものである。
    [0005] 背景技術
    [0006] 窒化硼素 （以下 B N と い う）は、 電気絶緣性、 熱伝導性、 耐食性、 耐熱衝撃性、 潤滑性等の優れた特性を有する一方、 機械加工の容易な数少ないセラ ミ ッ クスである。 このため上 記諸特性が要求される金属溶融用の各種容器をは じめ電気絶 縁材料.、 高温伝熱材料等に広く 利用されている。
    [0007] B N焼結体は B Nが難焼結性であるため、 一般にはホッ ト プレス （加庄焼結） 法によっ て作られている。 それは 1 5 0 0 〜 2 3 0 0 °Cにて 1 0 0 kgノ cm2を超える圧力 を かけて実施 しなければな らず、 黒鉛のダイ スを用いる必要がある為大き な形状の成形体を得る こ と ができない。 又複雑形状品を多量 に製造する には生産能率が悪いと い う問題がある。
    [0008] またホッ トプレス法のよ う な加圧焼結においても酸化硼素 或いはアルカ リ土類硼酸塩の如き焼結助剤を添加する方法が 一般的である。 このよ う な焼結助剤は得られたホ ッ トプ レ ス 焼結体に残存するため、 B N本来の潤滑性や高温時における 電気絶緣性、 熱伝導性、 耐熱衝繋性等の特性を低減せ しめる 要因とな り、 最終焼結体と してはむ しろ有害な成分と なる。 更に B N粉末は成形時に配向 し易い六方晶積層構造を有して いるため、 ホッ 卜プレス焼結体の諸性質は異方性を示し、 使 用時に制約を受けるこ ともある。 等方性の燒結体を製造する ため、 例えば予儼成形の段階でラバ一プレス成形し、 黒鉛モ 一ルドに揷入して自由膨張を制限する条件下での焼結が試み られている （日本国 ： 特開昭 6 1 — 1 3 2 5 6 3号公報） が、 生産能率が悪く 、 上述した焼結助剤の問題もある。
    [0009] これらの問題を解決するため、 各種の常圧焼結法が試みら れているが、 現在迄のと ころ B Nの特性を十分発揮できる高 鈍度、 高強度の焼結体は得られていない。 例えば日本国 ： 特 公昭 3 8 — 1 2 5 4 7号公報では Β Νに無水硼酸を添加し、 常圧焼結する方法が開示されているが、 Β Ν含有量が 9 5〜 9 9重量。/ αと高い反面、 強度が僅か 5 kg cm2と低く 、 実用性 が殆どない。 又日本国 ： 特公昭 4 7 - 3 8 0 4 7号公報には. B Nに S i 〇 z及び B z 0 3を添加する方法が記載されている が、 強度が 3 5 0〜 7 0 0 kg cm2と高い反面、 B N含有量が 3 0〜 7 0重量％ と低いため、 B Nの特性が十分得られず、 特に高温時における電気絶緣性、 熱伝導性、 酎食性、 酎衝撃 性等が要求される絶緣材ゃ金属溶融ルツボ等の用途には適さ ない c
    [0010] 又近年電気装置の小型化、 高集積化が進むにつれて冋路要 素から発生する熱の伝熱、 放冷が問題になっており、 十分な 絶緣性、 熱伝導性、 機械的強度を持つ鼋気絶緣放熱板 （以下 単に放熱板という） が要求されるよう になってきた。
    [0011] 放熱板には、 従来安価なアルミナが使われてきたが、 熱伝 導性が十分でな く 、 高出力の電子装置の放冷に対応するため 最近ではアル ミ ナに代っ て B N が採用 さ れる よ う になっ てき た。 し かし B N は、 主にホ ッ ト プ レス法に よ っ て作 られる た め、 焼成 'ィ ン ゴッ 卜 から所望の形状に後加工 し な ければな ら ず、 手間がかかる上、 焼結助剤添加によっ て絶縁抵抗、 熱伝 導性等が低下 して し ま う と い う 問題点があ る 。 又焼結体中の 焼結助剤の吸湿に伴う絶縁抵抗の低下の問題も大きい。 こ の よ う な B N焼結後の耐吸湿性を向上させる手段と して例えば 表面を樹脂コ ーティ ン グする方法 （ 日本国 ： 特開昭 5 9 — 1 1 6 1 8 1 号公報） が開示されてい る が、 耐吸湿性が改善さ れる反面、 表面に熱伝導の悪い層が形成され、 熱伝導性が悪 ィ匕 して し ま う と い う 問題点がある。
    [0012] これ らの理由で電気絶縁性、 熱伝導性、 酎食性、 耐熱衝繋 性、 潤滑性等の B N本来の特性に優れた助剤無添加の高純度、 高強度の B N常圧焼結体及びそれを効率良 く 製造する方法の 提供が望まれてい る 。
    [0013] 本発明は この様な B N常圧焼結体の強度特性等を改善 し、 従来得られなかっ た高純度、 高強度でかつ熱伝導性、 電気絶 緣性の良好な B N常圧焼結体及びそれを効率良 く 製造する方 法を提供する こ と を 目的とするものであ る 。
    [0014] 発明の開示
    [0015] 本発明に よれば、 窒化硼素を 9 5重量％ を超えて含有 し、 密度 1 . l O g Z on3以上、 曲げ強さ 3 0 0 kg Z on2以上である 窒化硼素常圧焼結体が提供さ れる。
    [0016] ま た、 本発明によれば、 出発原料窒化硼素粉末を粉砕 して 粉末の比表面積が前記出発原料窒化硼素粉末の比表面積の 2 倍以上となるよう にし、 次いでかよ う に粉砕された粉末を成 形して予備成形体を得、 1 4 0 0 °C以上、 常圧下に、 非酸化 性雰囲気中で前記予備成形体を焼結する こ と からなる窒化硼 素常圧焼結体の製造方法が提供される。
    [0017] 図面の簡単な説明
    [0018] 図面は焼結体からの曲げ強度及び熱伝導率測定用サンプル の採取状態を示す説明図である。
    [0019] 発明を実施するための最良の形態
    [0020] 以下、 本発明につき詳逑する。
    [0021] 本発明で用いる B N粉末は市販品でもよいが望ま し く は結 晶性の高い六方晶窒化硼素粉末が良い。 結晶性の高い六方晶 窒化硼素粉末は予備成形時の可塑変'形性に優れているため、 高密度の予備成形体が得られ易いので好ま しい。
    [0022] 従来、 合成法による B N微粉末或いは結晶の発達した B N を解砕した粉末を用いて常圧焼結を試みた例もあるが、 いず れも焼結助剤が添加されており 、 B N粉末単独での常圧焼結 は不可能であっ た。 本発明ではこれら一般に合成及び市販さ れ、 それ単独で 常圧焼結が不可能な出発原料 B N粉末をそ の比表面積が 2倍以上になるように破断、 せん断、 磨砕等の 粉砕を行い、 B N粉末の焼結性を高め、 常圧焼結を可能にし た。 この粉砕装置と しては、 一段に良く知られているア トラ イ タ一、 ボールミ ル、 振動ボールミ ル、 ライ カイ機等の通常 の粉碎機を用いる こと ができる。 粉砕は、 出発原料 B N粉末 の比表面積の 2倍以上の比表面積、 好ま し く は 1 0倍以上の 比表面積になるまで行う 2倍未満の比表面積では常圧焼結 体を得る こ と が困難と な る 。
    [0023] 粉碎を酸化雰囲気で行う と硼素酸化物の生成がみ られ、 そ のま ま焼成する と焼結体に ク ラ ッ ク が発生する。 こ の場合、 生成 した硼素酸化物を除去する処理を行う こ と に よ り本発明 の原料と して使用でき る。 硼素酸化物を除去する方法と して は、 メ タ ノ ール、 エ タ ノ ール、 グ リ セ リ ン等のアルコ ール類 での処理がある。 具体的にはアルコ ールを含んだスラ リ 一の 加熱処理ある いはアルコールによ る洗浄、 ろ過を行う処理で あ る。 し か し乍 ら粉砕を硼素酸化物が生成 しないよ う な例え ば N 2， A r*等の非酸化性雰商気中で行えば、 上記の硼素酸 化物を除去する工夫は必ず しも必要ではない。
    [0024] 本発明の方法に従い粉砕を行っ たものは焼結助剤を添加す る こ と な く 、 常圧焼結でき る メ リ ッ ト があ る 。 これは結晶の 格子不整及び部分的な非晶質化が進む と 同時に新たに形成さ れた粒子面が現われて所謂メ カ ノ ケ ミ カル効果によ り活性化 さ れた粉末が得 られるため と考え られる。 またこ の様な粉砕 処理さ れた B N粉末を用いた場合、 焼結前後の寸法変化が殆 どない と い う メ リ ツ ト を有する。
    [0025] 次いで粉砕された粉末を成形 して予備成形体を得る。 予備 成形体の成形は、 ゴム型に充填 した粉体に等方的に庄カ を力 Π え、 圧縮成形を行う ラバ一プ レ ス法等の冷間等方圧成形法、 金型プ レ ス法等の一軸加圧成形法、 ス リ ッ プキ ヤ ス ト法等に よ リ 行われる のが望ま し い。 高強度の B N常圧焼結体を得る には、 成形圧力 を高 く して予備成形体密度をでき るだけ高 く する こ と が望ま し い 3 異方性を有する焼結体は出発原料粉末 に結晶性の高い六方晶窒化硼素粉末を用い一軸加圧成形する こ と によ り得られる。 等方性の焼結体は冷間等方圧成形する こ と によ り得られる。 又出発原料粉末に結晶未発達の B N粉 末を用い一軸加圧成形する こ と によつても等方性の焼結体を 得る こと ができる。
    [0026] こ こで等方性の焼結体とは焼結体の 3次元方向軸 X， Y , Z， すなわち互いに直角な軸 X， Y， Zの一軸に沿う最小と なる曲げ強さ と、 該軸 X， Y , Zの一軸に沿う最大となる曲 げ強さ との比が 0 . 8 0〜 1 . 0 の範囲にある こ とで定義し、 異方性を有する焼結体とは上記の比が 0 . 8 0未満である こ とで定義する。
    [0027] 焼成は常圧にて 1 4 0 0 °C以上の非酸化性雰囲気で行う。 焼^温度が 1 4 0 0 °C未満では酸素、 硼素酸化物、 不鈍物元 素を除去することができず、 B を 9 5重量％ を超えて含有 する高純度の B N焼結体を得る こと が難しい。 しかも B N粒 同志が直接結合しに く いので高強度の B N焼結体が得られな い。 望ま し く は特に高純度 B N焼結体が得られる 1 8 0 0 "C 以上、 非酸化性雰囲気で焼成する方が良い。 焼成雰囲気ば、 H e , A r , N 2等の不活性雰囲気及び還元性雰囲気または 真空中でもよい。 なお本発明の焼結体を得るための焼成装置 の例と しては、 タ ンマン炉、 抵抗加熱炉、 高周波炉等が挙げ られる。
    [0028] 次に本発明による B N常圧焼結体について説明する。
    [0029] B N常圧焼結体は 純度 9 5重量％ を超えて含有する。 9 5重量％以下では B N本来の特性である熱伝導性、 電気絶 緣性、 耐食性等が低下し、 好ま し く ない。 望ま し く は上記特 性が十分に発揮される 9 8重量％以上である。 焼結体密度は 1 . 1 0 g Z era3以上である。 1 . 1 0 g cm3未満では気孔が 多く緻密でないため、 曲げ強さ及び熱伝導性が向上せず、 放 熱板等の用途に適さない。 望ま し く は曲げ強さ、 熱伝導性が 著し く 向上する 1 . S O g Z cm3以上である。 また、 焼結体の 3 次元方向軸 X , Y， Zの一軸に沿う最大となる曲げ強さは 3 〇 0 kg cnf 以上でなければな らない。 3 0 0 kg Z erf未満で は常温において構造用部材と して締付けた場合等、 焼結体に 割れが生 じ使用が不可能となるばかりでな く 、 高温において 反 り が発生 した り 、 酎熱衝撃性が低下する等の問題が生じる。 3 次元方向軸 X， Υ , Zの一軸に沿'う最小となる曲げ強さ と、 該軸 X， Y， Zの一軸に沿う最大となる曲げ強さ との比が 0 . 8 0未満の異方性を有する B N常圧焼結成形体は B N粒 子が一定方向に配向 しているため、 特定方向の熱伝導性、 強 度が大である と いう特徵を有する。
    [0030] 本発明の B N常圧焼結体の熱抵抗は 0 . 4 °C Z W以下、 絶 縁抵抗は 1 0 ι α Ω以上 .（形状 2 0 X I . 1 7 t 〔mm〕 ） で あ り、 放熱板と して優れた特性も有する。 しかも純度が高く 、 酎湿性も改善されたものである。 かのよ う な放熱板と しての 良好な性質に加え、 焼結前後の寸法変化が殆どな く 、 放熱板 の形に成形されたものを焼結する こ と によ り 、 そのまま製品 とする こ と ができる：：
    [0031] 以上のよ う に本発明によ り B N純度、 密度、 曲げ強さ、 熱 伝導性等に優れた常圧焼結体が焼結助剤を添加する こ とな く 製造できる。 従来よ り切望されていた電気絶緣性、 熱伝導性、 耐食性、 耐熱衝撃性、 潤滑性等の B N本来の特性に優れた高 純度、 高強度でなおかつ安価な B N焼結体が効率良く製造さ れる α また予備成形段階で成形方法を冷間等方圧成形あるい は一軸加圧成形で行う こ と によ り 、 等方性あるいは異方性を 有する上記 Β Ν常圧焼結体を.得る こ と ができ、 各々 の特性が 発揮される用途に供する ことができる。
    [0032] 実施例
    [0033] 以下本発明を実施例並びに比較例をもって詳細に説明する が、 本発明はこれに限定されるものではない。
    [0034] 実施例 1
    [0035] Β Ν粉末 （電気化学工業株式会社製グレー ト G P，六方晶， 8 純度 9 9 . 0 '%， 比表面積 6 m2Z g ) 7 g をライカイ機 で比表面積 6 0 rf Z g になるまで大気中にて粉碎した後、 メ タ ノ一ルで洗浄 · 乾燥し成形用の粉末を得た。 なお、 比表面 積は B E T法にて測定した。
    [0036] この粉末を 2 0 0 O kgZ cm2の圧力で一軸加圧成形した。 得 られた予備成形体を B N粉末 （前記電気化学工業株式会社製 グレー ト G P ) の入っ た黒鉛容器中に埋め込み、 高周波炉に て 2 0 0 0 °C、 6 0分間 A r雰囲気下で焼成した。 得られた Β Ν焼結体 1 から図面に示す様に任意の横方向の試片 2及び 任意の縦方向の試片 3 を切り 出し、 Β Ν純度、 曲げ強さ、 熱 抵抗、 絶縁抵抗を測定した。
    [0037] 実施例 2
    [0038] 実施例 1 で得た成形用の粉末を用ぃ、 焼成温度を 1 8 0 0 °C と した以外は実施例 1 と 同様の方法によ り実施 し た。
    [0039] 実施例 3
    [0040] 実施例 1 で得た成形用の粉末を用 い、 、 焼成温度を 1 4 0 0 °C と した以外は実施例 1 と 同様の方法によ リ実施 した。
    [0041] 実施例 4
    [0042] 実施例 1 で用いた B N粉末 1 0 0 g を ア ト ラ イ タ ーで比表 面積が 7 0 Z g にな る まで N z雰囲気下にて粉砕 し、 成形 用の粉末を得た。 この粉末を用いたこ と及び焼成温度を 1 8 0 0 °C と した以外は実施例 1 と 同様の方法によ り実施 した。
    [0043] 実施例 5
    [0044] 実施例 1 で用いた B N粉末 1 0 0 g をア ト ラ イ タ ーで比表 面積が 1 5 m2 / g になる まで大気中にて粉砕 した後、 メ タ ノ ールで洗浄、 乾燥して成形用の粉末を得た。 この粉末を用い たこ と以外は実施例 1 と 同様の方法によ り実施 した。
    [0045] 実施例 6 '
    [0046] 実施例 1 で 2 0 0 O kg Z on2の圧力で一軸加圧成形する代わ り に 2 0 0 0 kg cm2の圧力で冷間等方圧成形 した こ と以外は 実施例 1 と 同様の方法によ り実施 した。 .
    [0047] 実施例 7
    [0048] 硼酸と メ ラ ミ ン と を 1 ： 1 の重量比率で混合 し、 次に こ の 混合物を ア ンモニアガス気流中にて 1 2 0 0 °C、 4 時間、 力 Π 熱処理して B N純度 9 0 %、 比表面積 5 0 m2 g の B N粉末 を得た。 該粉末を X線回祈 した結果、 非晶質 B Nであ る こ と が判っ た。
    [0049] こ の粉末 7 g を ラ イ カ イ機で比表面積が 〗 5 0 rrf κ にな るまで大気中にて粉碎した後、 メ タ ノールで洗浄、 乾燥して 成形用の粉末を得た。 この粉末を用いたこ と以外は実施例 1 と同様の方法によ リ実施した。
    [0050] 実施例 8
    [0051] 実施例 7で得た成形用の粉末を用い、 焼成温度を 1 6 0 0 °Cと した以外は実施例 1 と同様の方法によ り実施した。
    [0052] 実施例 9
    [0053] 実施例 7 で得た合成 B N粉末 （ B N純度 9 0 %、 比表面積 5 0 m2 / g . 非晶質） 1 0 0 g を振動ボールミルで比表面積 が 1 3 O irf Z g になるまで A r雰囲気にて粉砕し、 成形用の 粉末を得た。
    [0054] この粉末を用い、 焼成温度を 1 8 0 0 °Cと したこと以外は 実施例 1 と同様の方法によ リ実旃しだ。
    [0055] 実施例 1 0 '
    [0056] 実施例 7で得た成形用の粉末を用い、 成形圧力を 1 0 0 0 kgノ cm2及び焼成温度を 1 6 0 0 °Cと したこ と以外は実旋例 1 と同様の方法によ り実施した。
    [0057] 比較例 1
    [0058] 実施例 7 で得た合成 B N粉末 （ B N純度 9 0 %、 比表面積 5 0 nf Z g 、 非晶質） を、 粉碎せずにそのまま成形用の粉末 と して用いたこ と以外は実施例 1 と同様の方法によ リ実施し た
    [0059] 比較例 2
    [0060] 実施例 1 で用いた B N粉末を粉砕せずにそのまま成形用の 粉末と して用いたこ と以外は実施例 1 と同様の方法によ り実 施した。
    [0061] 比較例 3
    [0062] 実施例 7で得た合成 B N粉末 （ B N純度 9 0 %、 比表面積 5 0 m2Z g、 非晶質） 7 g をその 2次粒子が解砕されるまで ライカイ機を用い大気中で粉砕 した後メ タ ノールで洗浄、 乾 燥して成形用の粉末を得た。
    [0063] 該粉末の平均粒子径は 0 . 5 ίπ>、 比表面積は 7 0 m2 Z g であっ た。 こ の粉末を用い、 焼成温度を 1 6 0 0 °Cと したこ と以舛は実施例 1 と同様の方法によ り実施した。
    [0064] 比較例 4
    [0065] 実施例 1 で得た、 成形用の粉末を用い、 焼成温度を 1 2 0 0 °Cと したこ と以外は、 実施例 1 と同様の方法によ り実施し た。 '
    [0066] 以上の実施例 1 〜 1 0及び比較例 1 〜 4 における物性の測 定結果を第 1 表に示す。 又実施例 1 と実施例 6 の焼結体につ いて縦方向及び横方向の曲げ強さ と熱伝導率を測定した。 そ の結果を第 2表に示す。 -
    [0067] (以下余白）
    [0068] 第 1 表
    [0069] Β Ν純度 密 度 曲げ強さ' (kg/cnf) 強度比 熱抵抗 絶緣抵抗 （Ω)
    [0070] (%) /ci) 最大値 最小値 (°C/W) 吸湿前 吸湿後 実施例 1 9 9. 6 1 . 69 480 320 0. 6 7 0. 24 1 013 1. o z
    [0071] 2 9 8. 3 .1. . 7 2 5 3 0 3 3 0 0 , 6 2 0 , 24 1 013 1 01Z ft 3 9 6. 3 1 . 8 0 3 7 0 2 9 0 0. 7 8 0. 2 7 1 013 1 o12
    [0072] 4 9 9. 2 1.. 7 Γ) 5 2 0 4 00 0. 7 7 0. 2 3 1 013 1 01Ζ
    [0073] 〃 5 9 9. 5 1. 68 3 20 250 0. 78 0. 25 1 013 .1 037' ft 6 9 9. 7 1 . 7 0 4 3 0 4 0 0 0. 9 0. 2 6 1 013 1 01 Ζ
    [0074] 7 9 9. 5 1. 4 0 3 0 300 0. 85 0. 27 1 013 1 01Ζ ft 8 9 5. 5 1 . 50 5 1 0 4 3 0 0. 84 0. 2 8 1 013 1 01Ζ t
    [0075] 9 9 8. 0 1 . 6 I 4 5 0 3 7 0 0. 8 2 0. 2 5 1 013 . ()1Ζ
    [0076] 10 9 6. 0 1. 1 2 3 3 0 3 00 0. 9 1 0. 2 5 1 013 .1. ο12 比較例 ΐ 9 9. 2 .1 . 0 0 1 6 8 0 0. 5 0 締付け
    [0077] 時破演
    [0078] II 2 9 9. 7 1. 62 30 20 0. 6 7 n
    [0079] II 3 9 5. 5 1. 35 1 00 6 0 0. 60 II
    [0080] II 4 9 2. 5 1. 6 3 3 20 240 0， 75 0. 4 0 1 09 1 0s
    [0081] 第 2 表
    [0082] なお、 第 1， 2表に記載した B N焼結体の B N純度及び物 性測定は次の方法によ り行っ た。
    [0083] (1) B N純度…アルカ リ融解一中和滴定法
    [0084] (2) 密度…焼結体の寸法によ り体積を求め、 その重量よ り 密度 ( gノ =重量 （ g ) /体積 （cm3 ) で算出 した。
    [0085] (3) 常温曲げ強さ…焼結体から採取 したサ ンプルを J I S R 1 6 0 1 に準拠して測定した。
    [0086] (4) 熱抵抗…得られた焼結体の放熱板と しての熱伝導性の 評価を以下の方法によ リ行つ た。
    [0087] 2 0 0 X 1 . 1 7 t 〔mm〕 の形状の焼結体をテ フ ロ ン枠の 中に組込んだ後、 5 kg ί · cmの締付け力で トランジスタ一 2 S D — 3 7 5 と フィ ンとの間にはさみ、 ついで電力を印加し トラ ンジスタ ーと フィ ンの温度を測定して、 その温度差と印 加電力から熱抵抗 C W ) を算出 した。
    [0088] (5) 絶縁抵抗…得られた焼結体の放熱板と しての電気絶縁 性を評価するため、 （4)と 同様の形状（ 2 0 Φ X 1 . 1 7 t Cmm) )の焼結体について、 焼上 り後、 及び（NH4)2S04溶液の 入っ たデシケ一タ 中に 2 4 hr.以上保存 · 吸湿後の絶緣抵抗 値 （ Ω ) を測定した。
    [0089] (6) 熱伝導率… レーザーフ ラ ッ シュ法による。
    权利要求:
    Claims請 求 の 範 囲
    1 . 窒化硼素を、 9 5重量％ を超えて含有し、 密度 1 . 1 0 g cm3以上、 曲げ強さ 3 0 0 kg Z cm2以上である窒化硼素常 圧焼結体。
    2 . 前記窒化硼素常圧焼結体が、 電気絶縁放熱板である請求 の範囲第 1項に記載の窒化硼素常圧焼結体。
    3 . 3 次元方向軸 X， Y， Zの一軸に沿う最小となる曲げ強 さ と該軸 X， Y， Zの一軸に沿う最大となる曲げ強さ と の 比が 0 . 8未満である請求の範囲第 1項に記載の窒化硼素 常圧焼結体。
    4 . 前記窒化硼素常圧焼結体が、 電気絶縁放熱板である請求 の範囲第 3項に記載の窒化硼素常圧焼結体。
    5 . 3次元方向軸 X， Y， Z の一軸に沿う最小と なる曲げ強 さ と該軸 X， Y， Zの一軸に沿う最大となる曲げ強さ との 比が 0 . 8以上且つ 1 . 0 を超えない範囲である請求の範 囲第 1項に記載の窒化硼素常圧焼結体。
    6 . 前記窒化硼素常圧焼結体が、 電気絶縁放熱板である請求 の範囲第 5項に記載の窒化硼素常圧焼結体。
    7 . 出発原料窒化硼素粉末を粉砕して粉末の比表面積が前記 出発原料窒化硼素粉末の比表面積の 2倍以上となるよ う に し、 次いでかよ う に粉砕された粉末を成形して予備成形体 を得、 1 4 0 0 °C以上、 常圧下に、 非酸化性雰囲気中で前 記予備成形体を焼結する こ と からなる窒化硼素常圧焼結体 の製造方法。
    δ . 前記粉砕された粉末を冷間等方庄成形法にて成形する請 求の範囲第 7項に記載の窒化硼素常圧焼結体の製造方法。 . 前記出発原料窒化硼素粉末が六方晶窒化硼素粉末であ り、 前記粉砕された粉末を一軸加圧成形法にて成形する請求の 範囲第 7項に記載の窒化硼素常圧焼結体の製造方法。
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    同族专利:
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1988-10-06| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): DE US |
    1989-03-23| RET| De translation (de og part 6b)|Ref document number: 3890199 Country of ref document: DE Date of ref document: 19890323 |
    1989-03-23| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 3890199 Country of ref document: DE |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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